洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害气体、细菌等微污染物排除,并将室内的洁净度、温度、湿度、压力、气流速度与流向、噪音、电磁干扰、微振动、照度、静电等控制在某一需求范围内,而给予特别设计的空间。
洁净室按主要受控对象及应用领域,可以分为工业洁净室及生物洁净室。两种洁净室的差异体现在控制对象不同,且不同的应用场景对于洁净室建设的复杂性和难度也存在较大差异。
洁净室主要类别及应用领域概述

资料来源:Wind、韦伯咨询整理
洁净室是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业,目前在半导体及泛半导体、新型显示、生命科学、食品药品大健康及其他智能制造等行业领域均有应用,并根据行业的精密与洁净要求,等级差别也较大。
受摩尔定律推动,半导体行业持续进行快速的技术革新。当前芯片制造工艺已经达到了5nm节点,高通、三星等企业均已于2021年推出5nm工艺的手机芯片,同时台积电于2022年技术研讨会上宣布旗下N3(3nm)工艺于2022年量产,并正式公布了N2工艺(2nm)将会在2025年正式推出,并且将从现阶段的FinFET(鳍式场效应晶体管)转换到环绕栅极晶体管(GAAFET)进行产品的制造。

新技术、新工艺的不断更新迭代,推动半导体产业的可持续发展,促使半导体企业产线改造及技术升级,进而带动洁净室行业需求持续增长。
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